日期:2025-02-26 分類(lèi):產(chǎn)品知識(shí) 瀏覽:620 來(lái)源:廣東佑風(fēng)微電子有限公司
最近推出了一款全新的功率MOSFET產(chǎn)品,名為SGT(Shielded Gate Trench屏蔽柵溝槽)技術(shù)。這項(xiàng)技術(shù)通過(guò)改變MOSFET內(nèi)部電場(chǎng)的形態(tài),將傳統(tǒng)的三角形電場(chǎng)變?yōu)轭?lèi)似壓縮的梯形電場(chǎng),從而進(jìn)一步減小EPI層的厚度,降低導(dǎo)通電阻Rds(on)。新一代中低壓功率MOSFET產(chǎn)品已廣泛采用SGT技術(shù)。

(Trench MOS和SGT MOS器件結(jié)構(gòu)圖)
SGT MOSFET與傳統(tǒng)的溝槽型MOSFET相比具有許多優(yōu)勢(shì)。SGT工藝挖掘深度比普通溝槽工藝深3-5倍,通過(guò)在柵電極下方增加一塊多晶硅電極,即屏蔽電極或耦合電極,實(shí)現(xiàn)了屏蔽柵極與漂移區(qū)的作用。這樣一來(lái),SGT MOSFET減小了米勒電容和柵電荷,提高了開(kāi)關(guān)速度并降低了開(kāi)關(guān)損耗。同時(shí),SGT MOSFET減小了漂移區(qū)臨界電場(chǎng)強(qiáng)度,降低了導(dǎo)通電阻,內(nèi)阻比普通溝槽型MOSFET低2倍以上。

(Trench MOS和SGT MOS柵電荷對(duì)比)
采用SGT技術(shù)制造的MOSFET減小了寄生電容和導(dǎo)通電阻,提升了芯片性能,并減小了芯片面積。與普通溝槽型MOSFET相比,在相同功耗下,SGT MOSFET的芯片面積減少超過(guò)40%。此外,SGT MOSFET在雪崩時(shí)能夠更好地承受雪崩擊穿和浪涌電流,具有較高的功率密度。

(應(yīng)用于同步整流SGT MOS)
隨著手機(jī)快充、電動(dòng)汽車(chē)、無(wú)刷電機(jī)和移動(dòng)儲(chǔ)能的興起,中低壓MOSFET的需求越來(lái)越大。SGT MOSFET作為中低壓MOSFET的代表,被廣泛應(yīng)用于手機(jī)快充、電機(jī)驅(qū)動(dòng)和電源管理系統(tǒng)等領(lǐng)域,成為核心功率關(guān)鍵部件。